Bearbeitungsverfahren mit einer Bearbeitungsgenauigkeit von bis zu 1 μM Die Präzisionsbearbeitung erfolgt mit Präzisionswerkzeugmaschinen, Messwerkzeugen und Messgeräten unter strenger Kontrolle der Umgebungsbedingungen. Es wird als Ultrapräzisionsbearbeitung bezeichnet, wenn die Bearbeitungsgenauigkeit 0,1 μM erreicht oder überschreitet.

Der technologische Effekt der Präzisionsbearbeitung ist wie folgt:

Die Genauigkeit der geometrischen Form und der gegenseitigen Position von Teilen kann Mikrometer oder Winkelsekunden erreichen.

Die Grenz- oder Merkmalsabmessungstoleranz des Teils liegt unter dem Mikrometer.

Die Oberflächenmikrounebenheit (durchschnittlicher Höhenunterschied der Oberflächenebenheit) von Teilen beträgt weniger als 0,1 um;

Die gegenseitigen Anschlüsse können die Anforderungen der Kraftkombination erfüllen;

Einige Teile können auch die Anforderungen an präzise mechanische oder andere physikalische Eigenschaften erfüllen.