Graphitprodukte für die Herstellung von polykristallinem Silizium
Einführung in Graphitprodukte für die Herstellung von polykristallinem Silizium
Zwei Verfahren zur Herstellung von polykristallinem Silizium sind CVD und Wirbelschichtbett, wobei CVD das meist angewandte ist. Beide Methoden hängen stark vom Graphitmaterial ab, und die Qualität des Graphitmaterials entscheidet über den Gehalt an polykristallinem Silizium.
Graphitprodukte, die bei der Herstellung von polykristallinem Silizium eingesetzt werden, sind Graphitsabot, Graphitkappe, Graphitboden, Graphitheißzone, Graphitabschirmung, Graphitfixierer, Graphitreaktor, Graphitbehälter usw.
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